表面后处理。
TiAlN涂层属于新型多元复合涂层,具有高硬度高抗氧化温度高热硬性,附着力强摩擦系数小机械零件加工厂导热率低等特性,已成为高温高速切削干切削微润滑切削模具等机械加工领域广泛使用的刀具涂层。下面随贤集网小编起来了解下溅射功率对TiAlN涂层组织结构与性能的影响。陈利等对TiAlN涂层热稳定性的研究结果表明,涂层会在高温下发生调幅分解先析出介稳态面心立方AlN,而后逐渐转变为稳定的体心立方相。 由于涂层表面的形貌决定于成核生长及外来原子迁移率等,因此可构建个有利于薄膜中晶体形核和生长的最佳溅射功率,从而确定最佳辅助能量轰击能量范围,加速原子在涂层表面运动,提高晶体完整性,合成具有高硬度和优良力学性能的纳米多层膜至关重要。除使用Ti/Al合金靶制备外,还可使用双靶磁控共溅射制备涂层,调节溅射功率控制涂层元素含量。实验采用两个单靶直流溅射源和两个孪生靶中频溅射源,引入高强度离化源,通过非平衡离子镀方法制备TiAlN涂层,并研究溅射功率对涂层的微观组织结构影响。将硬质合金基体固定在夹具上,往超声波机里添加洗涤液;加热到60℃左右,将基体放入其中清洗10min,拿出后用高压氮气吹干;用烘干器烘20min,待其完全干燥后,装入镀膜机;开电源机械泵扩散泵加热60min,抽真空度至粗真空45Pa;再开前级和高阀对真空室抽至5×103Pa;加热灯丝后,在负偏压850V时通入氩离子进行轰击15min;开启钛靶和铝靶,按表1工艺参数进行TiAlN涂层沉积;镀膜结束后,冷却90min后出炉。 采用MFT4000多功能材料表面性能试验机,通过划痕法测定结合力来判断涂层结合强度大小。利用荷兰FEI公司InspectF型场发射扫描电子显微镜和OxfordINCAPetafetx3的X射线能谱分析仪分析表面形貌和结构组成。为了比较4组样品各元素的百分含量变化,将其按Al/Ti的升高进行整理。 如表6所示,样品中的Al/Ti比值随着溅射功率的降低而降低。样品中N原子和Al原子的百分比直在降低,可以看出溅射功率降低导致靶材中Al溅射功率减小。Al原子百分比降低,导致Ti原子百分五金模具冲压加工比上升。N原子在TiAlN涂层中比例降低,总体上使用双靶磁控溅射制备的TiAlN涂层中Al/Ti原子百分比和功率变化总趋势致。 原因是靶溅射功率降低,导致铝靶溅射功率降低。铝原子的动能和原子的迁移率降低,使整个制备过程中原子迁移率减少,从而导致铝原子含量降低,同时由于铝原子和钛原子的溅射额不同,也会导致原子百分比变化。由图5的断口形貌可以看出,涂层厚度较薄时,分界面比较模糊。 随着厚度增加,界面变清晰。涂层端口形貌整体呈现高低不平的状态,这是晶粒的择优取向引起的。高的地方,说明其生长方向与择优取向晶面致;反之,则是与择优取向晶面呈现定角度,出现凹凸现象。随着溅射功率的降低,会在定程度上降低基体温度,导致原子间的扩散速度减慢,使得基体与镀层之间界面不清晰。 此外,Al元素含量的降低,不利于形成更多的核心,导致镀层表面的空隙和缺陷增多,阻碍晶粒的细化和生长,让断面形貌变得更粗糙。采用划痕法测定涂层与基体间的结合强度。由图6可知,随着溅射功率的变化,划痕形貌也随之变化。在溅射功率最大时划痕更清晰,同样的力,划痕越浅,结合力越高。 原因可能是溅射功率增加时,铝原子含量增加,其晶体结构从面心立方转化为方结构。晶格常数发生变化,硬度也随之发生变化。溅射功率最大时,晶粒细化程度最高,组织结构更致密,表面粗糙度最低,涂层的硬度值最高,从而膜基结合强度也高。 也可能因为沉积涂层中的等离子体相应增多,增大了沉积能量密度,细化晶粒,涂层的晶界强化作用加强,涂层硬度提高,从而提高结合力。
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